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真空在镀膜中的应用

添加时间:2016-03-23 10:17:55    查看:

真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要分支,它已广泛地应用于光学、电子学、能源开发,理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学以及科学研究等领域中。真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相沉积法。如果从真空镀膜的目的是为了改变物质表面的物理、化学性能的话,这一技术又是真空表面处理技术中的重要组成部分,其分类如表 6 所示。KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

                                                    表 6 真空表面处理技术的分类KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

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表面处理目的KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

处理方法KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

粒子运动能量KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

工作方式KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

等离子体KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

高真空KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

薄膜沉积(表面厚度增加)KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

PVDKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

真空蒸发镀膜KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

0.1~1evKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

等离子熔射辉光放电分解KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

电阻加热蒸发KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

加子束蒸发KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

真空电弧蒸发KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

真空感应蒸发KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

分子束外延KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

蔗农溅射镀膜KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

10~100evKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

放电方式:直流、交流、高频KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

电极数值: 2 级、 3 级、 4 级KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

反应溅射、磁控溅射、对向靶溅射KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

离子束溅射镀膜KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

真空离子镀膜KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

数 10~5000evKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

直流二级型KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

多阴极型KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

ARE 型、增强 AREKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

HCD 型KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

高频型KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

单一离子束镀膜KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

集团离子束镀膜KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

CVDKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

化学反应热扩散KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

等离子增强化学气和沉积( PCVD )KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

低压等离子化学气相沉积KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

( LPCVD )KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

微细加工(表面厚度减少)KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

离子刻蚀KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

数百 ev~ 数 kevKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

高频溅射刻蚀KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

等离子刻蚀KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

反应离子刻蚀KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

离子束刻蚀KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

反应离子束刻蚀KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

电子束刻蚀KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

X 射线曝光KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

表面改性(不改变表面厚度)KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

离子注入KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

数 kev~1000kecKAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

活性离子冲击离子氮化KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公

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          现就其几个主要应用方面做一简单介绍。首先在光学方面,一块光学玻璃或石英表面上镀一层或几层不同物质的薄膜后,即可成为高反射或无反射(即增透膜)或者作任何预期比例的反射或透射材料,也可以作成对某种波长的吸收,而对另一种波长的透射的滤色片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜茉莉,都很需要。增透膜则大量用于照相和各种激光器开始、一直到新型建筑物的大窗镀膜玻璃,都很需要。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的地位。各种规模的继承电路。包括存贮器、运算器、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器,约瑟夫逊器件、电荷耦合器件( CCD )也都甬道各种薄膜。在显示器件方面,录象磁头、高密度录象带以及平面显示装置的透明导电膜、摄像管光导膜、显示管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。在元件方面,在真空中蒸发镍铬,铬或金属陶瓷可以制造电阻,在塑料上蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等可以制造电容器,蒸发硒可以得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡可以制造磁致伸缩的起声元件等等。真空蒸发还可以用于制造超导膜和惯性约束巨变反应用的微珠镀层。此外还可以对珠宝、钟表外壳表面、纺织品金属花纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜,以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛金制品,如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、高档床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。KAe真空泵维修|进口真空泵维修|惠州真空泵|真空泵配件|惠州真空泵维修|真空泵油|真空泵滤芯---惠州市明胜机电设备有限公