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真空系统故障排除

添加时间:2019-04-09 15:11:55    查看:

 一、 允许漏率的概念

  一个真空系统的极限压强,实际上就是抽气与漏气(放气忽略不计)达到动态平衡的压强。真空技术理论指出,漏是绝对的,不漏是相对的,显然,为了得到低的极限压强,必须尽量减少漏气。但是,没有必要将所有漏孔都找出来并做到绝对不漏,实际上,漏孔的漏气如足够小,使得平衡压强低于真空系统正常所需压强,这些漏孔就是允许的。
  真空系统正常工作所能允许的最大漏气量称最大允许漏率,简称允许漏率。
 设工作压强为P工作
     平衡压强为P平衡
则只要P平衡 ≤P工作
     成立   则漏气是允许的
   设平衡时真空系统的抽速为Se,抽走气体量为SeP平衡,它应该等于漏气量Q漏,允许漏率为Q漏=SeP平衡≤SeP工作
  由于任何材料在真空下都要放气,因此,最大允许漏率一般规定为:Q漏=(1/5~1/10)SeP工作
  由上式可知,有效抽速越大或工作压强越高,允许漏率就可高些。
  二、 真空度异常故障检测
  实际的真空系统如果抽不到预定的极限真空,原因有四个方面:1)真空泵工作不正常。2)真空系统漏气。3)材料放气。4)真空系统冷却微漏。依据故障现象,可以从以下几方面检测。
真空系统的材料放气和真空泵工作异常均影响系统真空度,因此在检漏时,必须先排除以上两种情况,方法如下:
  先将真空系统抽气,达到一定压强后,将阀门关闭,让系统与泵断开,然后测量系统压强的变化,系统压强变化可能有四种方式。

  1)压强保持原值P0不变(直线a),表明容器既不漏气也不放气。这时若真空系统抽不到预定压强,其原因是由于真空泵工作不正常引起。
  2)压强开始上升较快,后逐渐呈现饱和状(曲线b),这表明主要原因是放气,因为不论是蒸汽源的放气或材料的放气,在达到一定的压强后都有饱和的趋势。如果是蒸汽所引起,最后可达到饱和蒸汽压的压强值。
  3)压强直线上升(直线c),这表明是漏气,漏气量比例于内外压强差,外部压强是1×105Pa,内部是低压强(小于102Pa),因后者比前者可忽略不计,故漏气量正比于大气压,漏气量是一个常数,压强直线上升。
  4)压强开始上升很快,后来变的较慢,但不出现饱和现象,(曲线d),这是上述两种情况的综合,同时存在放气和漏气。